“微机电系统技术及应用”慕课由清华大学深圳国际研究生院董瑛副教授授课，课程主要通过介绍典型的MEMS器件来使学生了解微机电系统中微结构的特性、微传感与驱动的原理，从而帮助学生初步掌握MEMS器件的设计思路和优化方法，使学生对微机电系统的设计、加工、测试、应用有一个完整的认识。本课程包括课程概论、MEMS加工技术、微压阻式压力传感器、硅微麦克风、微惯性传感器、静电微执行器、压电微执行器、微流控器件等八个部分的内容。课程帮助学生掌握从事微机电系统设计与研究工作的必备知识，对于培养学生的工程能力有重要意义。
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